半导体硅芯片工厂洁净室起重机系统

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半导体硅芯片工厂洁净室起重机系统

发布日期：2023-02-09 浏览次数：225

在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工最基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内。因此洁净室系统的运行状态对硅芯片品质和良率的影响举足轻重。

而专门应用于洁净空间的洁净室起重机，由于其较常规起重机有很多零部件选型、设计方法的不同，再加上应用场合的特殊性，经过研发与试验，推出起重能力在16 t及以下的洁净室专用起重机，适用于ISO洁净等级百级甚至更高的场合。洁净室起重机起重量16 t,工作级别A4，跨度22.5 m,起升速度0.4~2.4 m/min，大车运行速度8 ~32 m/min，小车运行速度5 ~ 20 m/min，全变频控制。